【專題 | 「光刻機」光刻技術_ASML光刻機_國產光刻機_EUV光刻機】

　　近日，有媒體報道稱，臺積電美國亞利桑那州廠導入了首臺極紫外光(EUV)光刻機。

　　據了解，2020年5月，臺積電宣布在美國亞利桑那州建廠，最初承諾投入120億美元。去年12月，臺積電將投資額增加到400億美元，并將所建工廠分為兩座，分別為5nm及3nm芯片代工廠。此前，臺積電曾宣布5nm工廠預計將在2024年全面投入運行，每月生產2萬片芯片，該工廠也被媒體喻為“美國第一家先進制程晶片廠”。

　　然而，由于臺積電5nm量產時間一拖再拖，在2024年量產之時，恐難以滿足當下市場對于先進制程的需求。因此，業內專家預測，此次臺積電美國亞利桑那州廠導入的首臺EUV光刻機，是為3nm量產做準備，3nm量產或將提前。

　　據了解，臺積電2022年前十大客戶中，有七家公司總部位于美國，占據臺積電當年收入的59.9%，美國公司已成為臺積電主要的客戶群體。其中，僅蘋果一家就占據了臺積電2022年收入的23%。

臺積電2023年客戶營收排名(數據來源：ExploreSemis)

　　據了解，臺積電排名靠前的美國客戶均是全球芯片領軍企業，業務涵蓋了智能手機、個人電腦、服務器、模擬芯片等大部分熱門應用領域，總產值多達上萬億美元。若臺積電美國亞利桑那州廠如期甚至提前量產3nm芯片，其產能利用率有所保障，預計將為臺積電帶來可觀的收益。

　　然而，導入了首臺EUV光刻機并不意味著臺積電在美國建廠能“萬事大吉”。有消息稱，首臺EUV光刻機的導入也使得臺積電美國亞利桑那州廠加劇人才缺口。隨著建廠進入到安裝先進精密設備的關鍵階段，預計將有2000名相關技術人員的人才缺口。此前臺積電在財報電話會議上透露，受人力開支、許可證、合規性和通貨膨脹的影響，赴美設廠成本或至少是中國臺灣地區的四倍。臺積電首席財務官黃仁昭表示，在美建廠投資可能會損害臺積電今年的盈利能力。

　　作者：沈叢　　來源：中國電子報、電子信息產業網